現(xiàn)在安徽搞半導(dǎo)體、精密光學(xué)、高端醫(yī)藥這些產(chǎn)業(yè)的越來越多,對千級潔凈車間的需求也跟著漲起來了。千級車間的標(biāo)準(zhǔn)是,每一立方米空氣里,直徑0.5微米及以上的灰塵顆粒,不能超過3.52萬個。要想把車間裝修好,讓干凈的環(huán)境一直保持住,技術(shù)和后期維護(hù)都得跟上。?

先說說技術(shù)這塊,這可是裝修的重頭戲。車間里的通風(fēng)設(shè)計很講究,用的是“垂直層流”方案,就是在車間天花板鋪滿FFU風(fēng)機過濾單元。空氣流動速度也有要求,控制在0.45-0.55米/秒,這樣干凈空氣就能均勻吹遍整個車間。地面得用能導(dǎo)電的環(huán)氧自流平材料,再配上接地網(wǎng)格,把防靜電做到位,電阻值保持在10的4次方到10的6次方歐姆,對生產(chǎn)半導(dǎo)體芯片特別合適。墻面用的是電解鋼板,表面先磷化處理,再噴上環(huán)氧涂料,墻縫還要用專用密封膠封死,保證每小時每米墻面的漏氣量不超過0.1立方米。通風(fēng)系統(tǒng)更是層層把關(guān),從初效、中效、亞高效到高效,一共四級過濾,特別是高效過濾器,直接上H14級別的,把灰塵顆粒攔得死死的。?
后期維護(hù)也得系統(tǒng)化來做。設(shè)計的時候,就留出1.2米寬的檢修通道,墻面上裝些能拆下來的檢測口,再裝上溫濕度、灰塵監(jiān)測傳感器,數(shù)據(jù)直接傳到中控室。材料也考慮到了維修方便,像墻面用的卡扣式彩鋼板,哪塊壞了拆下來單換就行,省錢又省事。地面用的耐磨環(huán)氧材料,平時打掃就用無塵布,配上專用清潔劑,小心別刮花了。?
日常維護(hù)都有一套標(biāo)準(zhǔn)流程:每天都得打掃地面和墻面,設(shè)備底下、墻角這些容易積灰的地方更得重點清理;每周要換一次初效過濾器,檢查下中效過濾器的阻力;每個月都得看看FFU風(fēng)機運行正不正常,空調(diào)除濕效果好不好;每三個月請專業(yè)機構(gòu)來檢測車間潔凈度,校準(zhǔn)監(jiān)測設(shè)備。進(jìn)車間的人管理也很嚴(yán),得先換衣服,再進(jìn)風(fēng)淋室吹30秒以上,全身消毒,穿上防靜電的潔凈服,就怕帶進(jìn)灰塵污染了車間。把這些技術(shù)和維護(hù)都做到位,安徽的千級潔凈車間就能穩(wěn)穩(wěn)滿足高端產(chǎn)業(yè)的需求,給地方科技發(fā)展出大力。?